當泵安裝高度增加時，泵內的壓力將降低，并且泵壓力的最低點通常位于葉輪葉片入口的稍后點附近。當此處的壓力在輸送液體的溫度下降至飽和蒸汽壓力時，將發生沸騰，并且隨著液體從入口流到外周，壓力迅速增加，所產生的蒸汽氣泡將迅速冷凝。它將導致液體以大的速度從氣泡周邊沖到氣泡中心，導致高頻瞬態壓力，這被稱為氣穴現象。
1.選擇基準平面
對于轉子真空泵，參考平面是真空泵軸中心線，而對于往復式真空泵，參考平面是柱塞中心線。

2.計算
對于容積式真空泵，該裝置的NPSH與旋轉葉片真空泵的NPSHa計算方法相同。對于容積式往復式真空泵，該裝置的NPSH也應包括在加速壓頭Hacd中。
加速頭損失的原因是吸入管流動的不均勻性。如果吸入緩沖罐安裝在吸入道路上，則不計算加速頭的損失。Hacc可按公式計算：Hacc=Lp1LN2D2ρ/109K1D2P1
公式中LP1-----吸入管道實際長度，m;
     L-----行程，mm;
     N----泵往復次數，r/min；
     D----活塞或柱塞直徑，mm；
     ρ----液體密度，Kg/m3
     K1----系數，單、雙缸泵K1=1.5;三缸泵，K1=4;
     DP1----吸入管道直徑，mm
3、汽蝕的危害性
汽蝕對旋片真空泵危害性:
1、噪聲和振動；2、性能下降；3、過流部件腐蝕破壞
汽蝕對容積式真空泵危害性:
噪聲和振動；2、性能下降；3、一般不發生腐蝕破壞
容積式真空泵發生汽蝕時也一樣會產生噪聲和振動，但一般不會發生過流部件的腐蝕破壞。

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